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MEMS諧振器和振蕩器關鍵技術研究

2022-05-26 16:00 浏覽次數:

主講人:吳國強 武漢大學工業科學研究院

Email :wuguoqiang@whu.edu.cn

時 間:2022年6月2日14:00-16:00

會議地點:物電院A112

聯系人:徐思行

報告摘要

時鐘是數字電路的心髒,為電路系統提供時間參考和頻率基準。近年來,MEMS(Microelectromechanical Systems, 微電子機械系統)諧振器以其體積小、失效率低、與集成電路制造工藝兼容好等優點,已成為取代傳統石英晶振的最佳選擇。本報告簡要介紹了MEMS諧振器實用化中的關鍵技術,并展望了MEMS諧振器的未來發展方向,最後報告了課題組在低頻率-溫度漂移被動式溫度補償壓電MEMS諧振器以及高頻率精度微腔恒溫壓電MEMS諧振器研究方面的進展。

個人簡介

吳國強,博士,博士生導師,武漢大學工業科學研究院教授,入選湖北省人才項目。2013年畢業于中科院上海微系統與信息技術研究所,獲得工學博士學位。博士論文入選上海市優秀研究生成果(學術論文)。2014-2018年就職于新加坡科技局微電子研究院,擔任研究員、項目負責人。2018年9月以武漢大學青年學術帶頭人身份入職武漢大學。研究方向為MEMS傳感器與智能微系統。主持包含國家重點研發計劃課題、國家自然科學基金、重要企業資助等多項科研項目。現已在IEEE JMEMS、IEEE EDL、IEEE TIE、APL等本領域主流期刊發表學術論文50餘篇,已獲授權國家發明專利18項,授權美國發明專利2項。